石墨加热器

‌弘信新材半导体用石墨加热器——高效热能，精准控温的理想选择

弘信新材专注于半导体用石墨加热器的研发与制造，致力于为高端半导体制造领域提供高性能石墨材料解决方案。我们的石墨加热器以超高纯度、耐高温和优异热控性能为核心优势，成为半导体外延、扩散、退火等工艺中不可或缺的核心组件。

产品特点：

• 超高纯度：采用99.999%以上高纯度石墨，确保在高温和真空环境下无杂质析出，满足半导体工艺对材料纯净度的严苛要求。

• 耐高温性能：可承受高达2000℃的极端高温，热膨胀系数低，抗热震性能优异，适应快速升降温需求。

• 高效热控性能：具备出色的导热性和热辐射性能，能够实现均匀的热场分布，保障工艺稳定性和一致性。

• 精密加工：通过先进的CNC加工技术，确保加热器尺寸精度达到微米级，完美适配各类半导体设备需求。

• 长寿命设计：经过特殊抗氧化和耐腐蚀处理，延长使用寿命，降低设备维护成本。

应用领域：

• 半导体外延工艺：用于MOCVD、MBE等外延设备中的加热组件。

• 扩散与退火工艺：用于高温扩散炉、退火炉中的加热组件。

• 单晶硅生长：用于单晶炉中的加热器，保障晶体高质量生长。

• 化合物半导体制造：用于GaAs、GaN等材料的高温工艺。

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